AMB nutzt für den Transfer zwischen Hauptreinigungsanlage und Prüfsystem das Know-how und die  Technologie aus dem Zellbereich. Ein Parallelroboter mit speziellem Greifer garantiert ein schonendes und sanftes Handling der Wafer.

IHR NUTZEN

• Ein System für bis zu 8 Spuren (156 mm x 156 mm)
  
• Hoher Durchsatz
• Minimierte Bruchrate
• Einfaches Wafer Tracking
• Präzise und reproduzierbare Ablagegenauigkeit
• Integrierte „on the fly“ Waferprüfung