Der Wet Wafer Separator WWS zeichnet sich durch die vollautomatische Separierung von nassen Wafern aus. Nach dem Prozessschritt Vorreinigung werden die Wafer in einem Carrier der Vereinzelungsanlage zugeführt. Die Trennung des jeweils vordersten Wafers vom Stapel erfolgt mit minimalem mechanischen Stress. Im Anschluss wird der Wafer vollautomatisch und äusserst schonend in den Prozessschritt der Endreinigung überführt.
