Mit dem CombiLoader profitieren Sie von High Speed Wafer Handling. Das ausgeklügelte System be- und entlädt Matrix-Carrier vollautomatisch. Die Be- und Entlade- Prozesse erfolgen gleichzeitig. Dank kurzen Umrüstzeiten stellen Sie den CombiLoader rasch auf ein anderes Waferformat um.

Ihr Nutzen

• Hoher Durchsatz
• Minimierte Bruchrate durch geringe Kräfte auf die Wafer
  
• Präzise und reproduzierbare Ablagegenauigkeit für Carrier und Wafer