Mit diesem kostengünstigen System werden Nassbänke mit bis zu 8 Spuren mit Wafern aus Kassetten oder Stapelboxen beladen. Ein Parallelroboter mit speziellem Greifer garantiert ein schonendes und sanftes Handling der Wafer. Die Wafer werden „on the fly“ geprüft.

Ihr Nutzen

• Ein System für bis zu 8 Spuren (156 mm x 156 mm)
  
• Hoher Durchsatz
• Minimierte Bruchrate
• Einfaches Wafer Tracking
• Präzise und reproduzierbare Ablagegenauigkeit
• Integrierte „on the fly“ Waferprüfung