Die Prozessbelader/-entlader der Reihe PL/PUL mit dreispurigem Zuführsystem gehören zu den schnellsten vollautomatischen Beladesystemen im Zellbereich.

Ihr Nutzen

• Hoher Durchsatz
• Einfaches Wafer-Tracking
• Schonendes Multi-Wafer Handling (geringe Geschwindigkeiten und Beschleunigungen)
  
• Minimierte Bruchrate
• Optionale Wafer Prüfung
• Optionales Puffersystem