AMB Support Handling Systeme sind kompakte Lösungen für automatische Umladevorgänge.

Sie haben die Wahl:

SH-CC: Automatisches Umladen der Wafer von einem Kassettentyp zu einem anderen Kassettentyp

SH-SC: Automatisches Umladen der Wafer zwischen einer Stapelbox und einer Kassette oder umgekehrt

Durch den modularen Aufbau können diese Systeme auch zur Be- und Entladung einspuriger Prozessmaschinen verwendet werden.

Ihr Nutzen

• Hoher Durchsatz
• Minimierte Bruchrate
• Geringe Kosten
• Optionale Waferprüfung